电性失效分析设备发展至今已有40年历史，此设备引入中国亦已接近20余年。除去大家耳熟能详的日本滨松，近年来行业内发展不断加速，也涌现出了一大批新生势力。本文将分成以下几个部分。

  电性失效分析为细分高壁垒市场，产品为中红外，近红外相关高端光学仪器，主要服务半导体、泛半导体行业。电性失效分析中国市场空间约为5亿人民币附近，未来预计将维持在这一份额。

  电性失效分析厂商主要背景分为两类：科学仪器开发商和前代理商独立后自研品牌，目前第一梯队品牌全部为前者，例如日本滨松，美国赛默飞等。国产品牌中凌光红外已经建立较大优势。

  简而言之，大致上可以分为锁相红外（后称Thermal），微光显微镜（后称EMMI），激光诱导电阻变化检测设备（后称Obirch）。其中锁相红外又分为制冷（中波红外），非制冷（长波红外）两种。

  根据笔者调研，中国大陆电性失效分析设备市场规模在5亿人民币左右，主要市场被第一梯队玩家瓜分，包括日本滨松、美国赛默飞、国产凌光红外、新加坡Semicaps，客户主要为晶圆厂、三方实验室、大型设计企业等半导体行业客户。

  由于国内半导体行业周期叠加国内玩家进入市场加剧竞争等坏因，电性失效分析设备市场面临需求放缓和价格下滑的风险，但良好的竞争同样推动相关高值设备向泛半导体及电子行业普及，有效对冲市场萎缩，长久来看，笔者预计中国大陆电性失效分析设备将持续维持5亿人民币左右市场规模。

  根据SEMI2024年9月发布的《300mm晶圆厂2027年展望报告（300mm Fab Outlook Report to 2027）》，2025年到2027年，全球300mm晶圆厂设备支出预计将达到创纪录的4000亿美元，预计全球300mm晶圆厂设备支出预计从2024年的993亿美元增长至2027年的1408亿美元。而中国预期在2027年仍将保持其作为全球300mm设备支出第一的地位，未来三年将投资超过1000亿美元。然而，预计投资将从2024年的450亿美元峰值慢慢地减少到2027年的310亿美元。电性失效分析设备作为晶圆厂建设的必备实验室设备之一，其市场周期与晶圆厂设备支出周期保持一致。

  由于以凌光红外为代表的国产设备厂商打入半导体客户，近年电性失效分析设备呈现持续下降趋势。在日本与美国厂商垄断市场时期，单台电性失效分析设备价格曾高达100多万美金，随着国产化率提升，目前市场设备平均价格已较高峰期下降超过15%。

  由于国产设备普及，近年设备市场呈现出更多泛半导体及电子行业客户采购制冷型失效分析设备的趋势，过去这类客户对制冷型设备的性能具有着强烈需求，但高昂的价格限制多数客户的购买需求，客户只能退而求其次选择低端非制冷机型或者搁置采购计划，如今超高的性价比的设备让更多客户可选择制冷型设备，扩大整体市场的需求量。

  滨松自1987年推出首台产品，迄今已有37年历史。21世纪初，滨松和复旦大学推出失效分析联合实验室，将第一台Phemos系列设备引入了中国，从此打开整个行业。可以说滨松在电性失效分析行业中是类似于足球界皇家马德里的存在。

  滨松的产品系列较为完全，其分成Phemos，iPhemos，Dual-Phemos数个系列。2023年滨松Thermal F1系列和Phemos 1000系列停产，PhemosX系列成为了最常见的货架产品，其可以配备单独EMMI、单独Obirch、单独Thermal或二合一双功能或三合一三功能。此外倒置iPhemos，正置+倒置Dual-Phemos系列以及动态失效分析系列。值得一提的是滨松在2025年新推出了TD-Imaging基于反射测温的失效点定位功能，目前尚未打开市场，值得期待。

  在历史装机量方面，到2025年底，滨松仍然保有了中国第一的位置。根据公开披露的信息，滨松服务的客户包括胜科纳米，闳康检测，季丰电子，广州赛宝，甬江实验室等第三方实验室，亦包括数个头部的晶圆厂。

  综合来看，滨松可谓当之无愧的行业老大，依靠优秀的日本供应链和长期技术积累，在行业内保持了近30年的领先身位。

  赛默飞是人尽皆知的世界科学仪器巨头，历来以并购闻名。TFS的电性失效分析仪器可谓是一条长长的并购历史。20年的发展用一句话表述为：TFS 收购FEI 收购 DCG 收购Hypervision。在这其中，DCG时代是电性失效分析设备完成研发，推向市场的核心时段。2016年，随着赛默飞豪掷40亿美元收购著名电子显微镜公司FEI，DCG随着“娘家”一起加入了赛默飞，成为了全产品线上的一环。

  作为滨松强有力的挑战者，赛默飞的Thermal系列在推入中国可谓是大获全胜。除去厦门闳康早期配备的Hamamatsu Thermo Mini机台以外，2019 - 2024年间各头部第三方检验测试的机构例如闳康检测，季丰电子，胜科纳米，苏试宜特皆选择了Elite型号作为其Thermal设备。此外，赛默飞的Meridian动态失效分析方案系列也得到了大量客户认可，在头部晶圆厂中作为首选方案。至于EMMI/Obirch系列，因为其没有正置机台，在绝大多数竞争中处于下风。

  凌光红外是一家三位复旦校友成立的勇于探索商业模式的公司，是近年来电性失效分析行业的新军，成立于2021年12月。公司专注于电性失效分析全系列解决方案。据悉凌光的创始人为90后，公司目前融资5轮，发展至近70人。

  凌光红外的产品线涵盖了Thermal，EMMI，Obirch全系列。目前公司已公开发布的包括Thermo 100（Thermal），InGaAs 100（EMMI），LaserSight 100（Obirch）等。此外，凌光也推出了主打性价比的Thermo/InGaAs 50系列，服务于半导体以外的板级，电子制造业。根据最新信息，凌光红外目前没有EMMI/Obirch二合一机台。

  凌光红外在近两年市场上的表现较为抢眼，其Thermo 100系列大有替代原先王者Elite之势。根据公开信息，闳康检测，季丰电子，西测检测，美信检测等头部三方实验室和多个晶圆厂已经购买多台。值得一提的是，近期凌光红外发布了Obirch系列新产品，并且已经和EMMI一同在广州赛宝完成装机。

  作为一家新生代公司，凌光红外在4年内已经从零完成了Thermal，EMMI，Obirch设备的研发和生产，发展速度令人惊喜。尤其是Obirch系列，被进口厂商一度称为国产无法突破的设备之一。随着凌光加入高端桌，电性失效分析的进口垄断格局有望发生改变。

  Semicaps成立于1989年，是在新加坡国立大学中孵化的一家专注于失效分析技术和设备的企业，目前公司有30余人。公司目前专注于先进制程的半导体失效分析解决方案。Semicaps是一家完全立足于电性失效分析细分领域的企业，

  相比于前两家，Semicaps在国内销量相对有限。2024年其公司销售额为全球6500万人民币，25年预计为全球一亿块钱。其PEM/SOM系列根据公开对外招标信息，在科研单位和军工企业有较多销售记录，例如西安**子所，华芯检测，**四所，美信检测等。Thermal系列在国内基本没销售。相比其口碑一般的静态设备，其动态失效分析系统据称已经在数家世界头部芯片公司完成交付。

  Semicaps于本年11月爆出被中国某上市公司收购的新闻。不知道未来是否会从一家新加坡厂商转变为纯国产厂商。

  Optotherm公司总部在美国匹兹堡，企业成立于2002年，专注于研发失效分析相关设备。相比于上述四家服务半导体行业相比，Optotherm立足于板级客户，公司基本的产品为长波非制冷红外设备。

  Optotherm产品主要为Sentris系列非制冷红外，服务板级，电子制造业。其在华南的知名消费电子厂商及供应链内有较多装机。公司的制冷Thermal和EMMI系列在市场上信息缺乏。

  宇创视觉科技股份有限公司最早为日本滨松在台湾地区代理，后开始开发自有品牌，早年间在宜特，广州赛宝等实验室有成交记录。目前唯一代理商为仪准科技。

  台湾宇创产品最重要的包含EMMI（P100），其产品在科研所行业有数台交付。2024年台湾仪准推出了Obirch，性能未知。

  QFI公司来自美国加州，成立于1997年，着眼于红外显微镜的设计加工。近10年，QFI也推出了失效分析设备Thermal，EMMI，Obirch系列。QFI在菲律宾设有办公室，服务亚洲客户。

  QFI公司的产品线包括Thermal，EMMI，Obirch及三合一。然而此类设备在中国交付数量过少，根据内部的人偷偷表示仅有西南某大厂配备了此设备。相比失效分析设备，QFI的红外显微测温设备在中国各个科研单位有一定量装机，例如广州赛宝，**四所等。因此，公司重心并不在失效分析领域。

  如果说赛默飞是一条长长的并购线，卓普微则正好反过来，是一条长长的独立之旅。卓谱微成立于2024年，其前身来源于EDA公司鸿之微旗下的三方检测实验室泓准达检测，泓准达检测孵化出“奥义”产品线月卓普微完成了天使轮融资。卓谱微技术核心团队亦来源于泓准达检测，创始人据悉为新毅东前董秘，有较强资本运作能力，公司整体团队十余人。

  卓谱微的产品主要有Thermal（奥义Rthermo）和EMMI系列。其设备装机量较少，奥义设备主要客户有泓准达实验室，海尔。根据内部的人偷偷表示，奥义系列新产品的来源为数年前某日本进口品牌国产化的尝试。其产品奥义公开发布于2021年12月，是最早发布的国产Thermal机台（此时芯鉴未发布制冷红外类设备，凌光红外未成立），可惜在后续的发展中被后来居上。此外，2025年，卓谱微转型探卡测试和多个半导体检验测试仪器，开始进军多个行业。

  芯鉴半导于无锡，由江南大学微电子系闫大为教授成立。闫教授是中国最早一批开始研究失效分析设备的学者，在实验室中攻克了多项失效分析技术。

  芯鉴半导体产品有非制冷Thermal和EMMI以及低频噪声检测系统等。主要服务于高校科研团体。

  致晟光电（前名集智方成），由Optotherm旗下的二级经销商研发自主品牌后脱离成立。据悉其创始人分别来源于前苹果供应链采购和前Optotherm应用工程师。后于2024年引入了南京理工大学光学教授增强研发能力，定位为国产高端电子失效分析设备品牌。

  致晟光电产品有，Thermal，EMMI以及非制冷Thermal。根据其公开资料，致晟光电的Thermal，EMMI的核心性能超越了一众进口品牌，其也掌握了Obirch相关的“光束检测核心技术”。值得瞩目的是，致晟光电于近期多次在院所，学校的公开类投标中以超低价格（半价于投标厂商）拿到订单，公司急于抢占市场空间的意图较为明显。

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